單機鍍膜設備（3維轉架）FE-2600

1：應用領域 
（1）高端金屬雙極板涂層制備。
2：產品優勢 
（1）可以實現磁控、PECVD、熱絲、 離子輔助和多弧復合； 
（2）適合制備碳膜、陶瓷和金屬厚膜； 
（3）可以進行連續穩定長時間工作。
3：技術參數
（1）PVD兼容PECVD工作模式。單室裝爐量50-100片，1爐/4小時。 
（2）技術指標：1.5MPa，接觸電阻小于3mΩ*cm²；0.6V, 80℃,0.5M(H2SO4)+5ppm（F）腐蝕電流0.2μA/cm²，加速腐蝕壽命50小時以上。
每爐100片，4小時/爐。 
（3）工作產量：12萬片/年以上。