單機(jī)鍍膜設(shè)備（3維轉(zhuǎn)架）FE-2600

1：應(yīng)用領(lǐng)域 
（1）高端金屬雙極板涂層制備。
2：產(chǎn)品優(yōu)勢 
（1）可以實(shí)現(xiàn)磁控、PECVD、熱絲、 離子輔助和多弧復(fù)合； 
（2）適合制備碳膜、陶瓷和金屬厚膜； 
（3）可以進(jìn)行連續(xù)穩(wěn)定長時(shí)間工作。
3：技術(shù)參數(shù)
（1）PVD兼容PECVD工作模式。單室裝爐量50-100片，1爐/4小時(shí)。 
（2）技術(shù)指標(biāo)：1.5MPa，接觸電阻小于3mΩ*cm²；0.6V, 80℃,0.5M(H2SO4)+5ppm（F）腐蝕電流0.2μA/cm²，加速腐蝕壽命50小時(shí)以上。
每爐100片，4小時(shí)/爐。 
（3）工作產(chǎn)量：12萬片/年以上。