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1：應(yīng)用領(lǐng)域
低成本雙極板制備。
2：產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
（1）可以實(shí)現(xiàn)磁控和多弧的復(fù)合；
（2）適合制備厚度適中的多層膜；
（3）產(chǎn)能高；
（4）操作界面簡(jiǎn)潔、效率高。
3：技術(shù)參數(shù)
（1）1.5MPa，接觸電阻小于3mΩ*cm²；0.6V, 80℃,0.5M(H2SO4)+5ppm（F）腐蝕電流0.2μA/cm²，加速腐蝕壽命50小時(shí)以上。
（2）以半連續(xù)式工作方式，工作產(chǎn)量：100萬(wàn)片/年以上
